
BOOKS - EQUIPMENT - Оборудование полупроводникового производства...

Оборудование полупроводникового производства
Author: Блинов И.Г., Кожитов Л.В.
Year: 1986
Format: PDF
File size: 102 MB
Language: RU

Year: 1986
Format: PDF
File size: 102 MB
Language: RU

The book "Оборудование полупроводникового производства" (Equipment of Semiconductor Production) provides a comprehensive overview of the design issues and features of the main types of technological equipment used in the production of semiconductors. The author highlights the importance of understanding the technological process of developing modern knowledge as the basis for the survival of humanity and the unity of people in a warring world. The book begins with an introduction to the history of semiconductor technology, tracing its evolution from the early days of vacuum tubes to the current era of microelectronics. The author emphasizes the need for a systematic approach to the integrated mechanization and automation of the production of semiconductor devices and integrated circuits, noting that this approach is essential for ensuring the quality and reliability of the final product. The first chapter focuses on the design of semiconductor manufacturing equipment, including photolithography, diffusion, and etching. The author explains how each of these processes plays a critical role in the production of high-quality semiconductors and highlights the need for precise control of temperature, pressure, and other environmental factors to ensure optimal performance.
В книге «Оборудование полупроводникового производства» (Оборудование полупроводникового производства) дан комплексный обзор вопросов проектирования и особенностей основных видов технологического оборудования, используемого в производстве полупроводников. Автор подчеркивает важность понимания технологического процесса развития современных знаний как основы выживания человечества и единства людей в воюющем мире. Книга начинается с введения в историю полупроводниковой техники, прослеживая её эволюцию от первых дней существования электронных ламп до нынешней эры микроэлектроники. Автор подчеркивает необходимость системного подхода к комплексной механизации и автоматизации производства полупроводниковых приборов и интегральных схем, отмечая, что такой подход необходим для обеспечения качества и надежности конечного продукта. Первая глава посвящена проектированию оборудования для производства полупроводников, включая фотолитографию, диффузию и травление. Автор объясняет, как каждый из этих процессов играет критическую роль в производстве высококачественных полупроводников, и подчеркивает необходимость точного контроля температуры, давления и других факторов окружающей среды для обеспечения оптимальной производительности.
livre « L'équipement de fabrication de semi-conducteurs » donne un aperçu complet des questions de conception et des caractéristiques des principaux types d'équipements technologiques utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. L'auteur souligne l'importance de comprendre le processus technologique du développement des connaissances modernes comme base de la survie de l'humanité et de l'unité des gens dans un monde en guerre. livre commence par une introduction à l'histoire de la technique des semi-conducteurs, qui suit son évolution depuis les premiers jours de l'existence des lampes électroniques jusqu'à l'ère actuelle de la microélectronique. L'auteur souligne la nécessité d'une approche systémique de la mécanisation intégrée et de l'automatisation de la production d'instruments à semi-conducteurs et de circuits intégrés, notant qu'une telle approche est nécessaire pour assurer la qualité et la fiabilité du produit final. premier chapitre est consacré à la conception d'équipements pour la fabrication de semi-conducteurs, y compris la photolithographie, la diffusion et la gravure. L'auteur explique comment chacun de ces processus joue un rôle crucial dans la production de semi-conducteurs de haute qualité et souligne la nécessité de contrôler avec précision la température, la pression et d'autres facteurs environnementaux pour assurer une performance optimale.
En el libro Equipo de producción de semiconductores (Semiconductor Manufacturing Equipment) se ofrece una visión general completa de las cuestiones de diseño y las características de los principales tipos de equipos de proceso utilizados en la fabricación de semiconductores. autor subraya la importancia de comprender el proceso tecnológico de desarrollo del conocimiento moderno como base para la supervivencia de la humanidad y la unidad de los seres humanos en un mundo en guerra. libro comienza con una introducción a la historia de la técnica de semiconductores, trazando su evolución desde los primeros días de existencia de las lámparas electrónicas hasta la era actual de la microelectrónica. autor subraya la necesidad de un enfoque sistemático para la mecanización y automatización integrales de la producción de aparatos semiconductores y circuitos integrados, señalando que este enfoque es necesario para garantizar la calidad y fiabilidad del producto final. primer capítulo se centra en el diseño de equipos para la fabricación de semiconductores, incluyendo fotolitografía, difusión y grabado. autor explica cómo cada uno de estos procesos juega un papel crítico en la producción de semiconductores de alta calidad y destaca la necesidad de un control preciso de la temperatura, la presión y otros factores ambientales para garantizar un rendimiento óptimo.
O livro «Equipamentos de semicondutores» fornece uma visão completa das questões de design e características dos principais equipamentos de tecnologia usados na produção de semicondutores. O autor ressalta a importância de compreender o processo tecnológico de desenvolvimento dos conhecimentos modernos como base para a sobrevivência da humanidade e a unidade das pessoas no mundo em guerra. O livro começa com a introdução na história da tecnologia de semicondutores, traçando sua evolução desde os primeiros dias de existência das lâmpadas eletrônicas até a era atual da microeletrônica. O autor ressalta a necessidade de uma abordagem de sistemas para a mecânica integrada e automação da produção de semicondutores e circuitos integrados, observando que essa abordagem é necessária para garantir a qualidade e a confiabilidade do produto final. O primeiro capítulo é sobre engenharia de equipamentos para a produção de semicondutores, incluindo fotolitografia, difusão e erva. O autor explica como cada um desses processos desempenha um papel crítico na produção de semicondutores de alta qualidade, e ressalta a necessidade de controlar com precisão a temperatura, a pressão e outros fatores ambientais para garantir a produtividade ideal.
Il libro Apparecchiature semiconduttori fornisce una panoramica completa della progettazione e delle caratteristiche delle principali apparecchiature tecnologiche utilizzate nella produzione di semiconduttori. L'autore sottolinea l'importanza di comprendere il processo tecnologico di sviluppo delle conoscenze moderne come base della sopravvivenza dell'umanità e dell'unità umana nel mondo in guerra. Il libro inizia con l'introduzione nella storia della tecnologia semiconduttore, tracciando la sua evoluzione dai primi giorni di vita delle lampade elettroniche fino all'era attuale della microelettronica. L'autore sottolinea la necessità di un approccio di sistema alla meccanizzazione e automazione complete della produzione di semiconduttori e circuiti integrati, sottolineando che tale approccio è necessario per garantire la qualità e l'affidabilità del prodotto finale. Il primo capitolo è dedicato alla progettazione di attrezzature per la produzione di semiconduttori, tra cui fotolitografia, diffusione e erba. L'autore spiega come ciascuno di questi processi svolga un ruolo cruciale nella produzione di semiconduttori di alta qualità e sottolinea la necessità di controllare con precisione temperatura, pressione e altri fattori ambientali per garantire prestazioni ottimali.
Das Buch „Semiconductor Manufacturing Equipment“ (Semiconductor Manufacturing Equipment) gibt einen umfassenden Überblick über Designfragen und Merkmale der wichtigsten Arten von Prozessausrüstung, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Der Autor betont die Bedeutung des Verständnisses des technologischen Prozesses der Entwicklung des modernen Wissens als Grundlage für das Überleben der Menschheit und die Einheit der Menschen in einer kriegerischen Welt. Das Buch beginnt mit einer Einführung in die Geschichte der Halbleitertechnologie und zeichnet deren Entwicklung von den Anfängen der Elektronenröhren bis zur heutigen Ära der Mikroelektronik nach. Der Autor betont die Notwendigkeit eines systematischen Ansatzes zur umfassenden Mechanisierung und Automatisierung der Herstellung von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltungen und stellt fest, dass ein solcher Ansatz notwendig ist, um die Qualität und Zuverlässigkeit des Endprodukts zu gewährleisten. Das erste Kapitel befasst sich mit der Konstruktion von Anlagen zur Halbleiterherstellung, einschließlich Photolithographie, Diffusion und Ätzen. Der Autor erklärt, wie jeder dieser Prozesse eine entscheidende Rolle bei der Herstellung hochwertiger Halbleiter spielt, und betont die Notwendigkeit einer genauen Kontrolle von Temperatur, Druck und anderen Umweltfaktoren, um eine optimale istung zu gewährleisten.
Książka „Półprzewodnikowy sprzęt produkcyjny” (półprzewodnikowy sprzęt produkcyjny) zapewnia kompleksowy przegląd zagadnień projektowych i cech głównych typów urządzeń technologicznych stosowanych w produkcji półprzewodników. Autor podkreśla znaczenie zrozumienia technologicznego procesu rozwoju nowoczesnej wiedzy jako podstawy przetrwania ludzkości i jedności ludzi w wojującym świecie. Książka rozpoczyna się od wprowadzenia do historii technologii półprzewodników, śledzenia jej ewolucji od wczesnych dni próżni do obecnej ery mikroelektroniki. Autor podkreśla potrzebę systematycznego podejścia do zintegrowanej mechanizacji i automatyzacji produkcji urządzeń półprzewodnikowych i układów scalonych, zauważając, że takie podejście jest niezbędne do zapewnienia jakości i niezawodności produktu końcowego. Pierwszy rozdział poświęcony jest projektowaniu sprzętu do produkcji półprzewodników, w tym fotolitografii, dyfuzji i trawienia. Autor wyjaśnia, jak każdy z tych procesów odgrywa kluczową rolę w produkcji wysokiej jakości półprzewodników i podkreśla potrzebę precyzyjnej kontroli temperatury, ciśnienia i innych czynników środowiskowych w celu zapewnienia optymalnej wydajności.
הספר ”ציוד ייצור מוליך למחצה” (Semiconductor Productor Equipment) מספק סקירה מקיפה של נושאי התכנון והתכונות של סוגי הציוד הטכנולוגי העיקריים המשמשים בייצור מוליכים למחצה. המחבר מדגיש את החשיבות של הבנת התהליך הטכנולוגי של התפתחות הידע המודרני כבסיס להישרדות האנושות ולאחדות האנשים בעולם לוחם. הספר מתחיל עם הקדמה להיסטוריה של טכנולוגיית המוליכים למחצה, התחקות אחר האבולוציה שלו מהימים הראשונים של שפופרות ואקום לעידן הנוכחי של מיקרואלקטרוניקה. המחבר מדגיש את הצורך בגישה שיטתית למיכון משולב ואוטומציה של ייצור התקני מוליכים למחצה ומעגלים משולבים, וציין כי גישה זו נחוצה כדי להבטיח את איכותו ואמינותו של המוצר הסופי. הפרק הראשון מוקדש לעיצוב הציוד לייצור מוליכים למחצה, כולל פוטוליתוגרפיה, דיפוזיה וחריטה. המחבר מסביר כיצד כל אחד מהתהליכים ממלא תפקיד קריטי בייצור מוליכים למחצה באיכות גבוהה, ומדגיש את הצורך בשליטה מדויקת של טמפרטורה, לחץ וגורמים סביבתיים אחרים כדי להבטיח ביצועים מיטביים.''
"Yarıiletken Üretim Ekipmanları" (Semiconductor Production Equipment) kitabı, yarı iletkenlerin üretiminde kullanılan ana teknolojik ekipman türlerinin tasarım konularına ve özelliklerine kapsamlı bir genel bakış sunar. Yazar, modern bilginin gelişiminin teknolojik sürecini, insanlığın hayatta kalması ve savaşan bir dünyada insanların birliği için temel olarak anlamanın önemini vurgulamaktadır. Kitap, yarı iletken teknolojisinin tarihine bir giriş ile başlıyor ve vakum tüplerinin ilk günlerinden mevcut mikroelektronik çağına kadar evrimini izliyor. Yazar, yarı iletken cihazların ve entegre devrelerin üretiminin entegre mekanizasyonuna ve otomasyonuna sistematik bir yaklaşımın gerekliliğini vurgulamakta ve nihai ürünün kalitesini ve güvenilirliğini sağlamak için böyle bir yaklaşımın gerekli olduğunu belirtmektedir. İlk bölüm, fotolitografi, difüzyon ve aşındırma dahil olmak üzere yarı iletkenlerin üretimi için ekipman tasarımına ayrılmıştır. Yazar, bu süreçlerin her birinin yüksek kaliteli yarı iletkenlerin üretiminde nasıl kritik bir rol oynadığını açıklıyor ve optimum performansı sağlamak için sıcaklık, basınç ve diğer çevresel faktörlerin hassas kontrolüne duyulan ihtiyacı vurguluyor.
يقدم كتاب «معدات إنتاج أشباه الموصلات» (معدات إنتاج أشباه الموصلات) لمحة عامة شاملة عن قضايا التصميم وسمات الأنواع الرئيسية من المعدات التكنولوجية المستخدمة في إنتاج أشباه الموصلات. ويشدد المؤلف على أهمية فهم العملية التكنولوجية لتطور المعرفة الحديثة كأساس لبقاء البشرية ووحدة الشعوب في عالم متحارب. يبدأ الكتاب بمقدمة لتاريخ تكنولوجيا أشباه الموصلات، وتتبع تطورها من الأيام الأولى لأنابيب التفريغ إلى العصر الحالي للإلكترونيات الدقيقة. ويشدد المؤلف على ضرورة اتباع نهج منهجي إزاء الميكنة المتكاملة وإجراء التشغيل الآلي لإنتاج أجهزة أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة، مشيراً إلى أن هذا النهج ضروري لضمان جودة المنتج النهائي وموثوقيته. يخصص الفصل الأول لتصميم معدات لإنتاج أشباه الموصلات، بما في ذلك الطباعة الحجرية الضوئية والنشر والحفر. يشرح المؤلف كيف تلعب كل عملية من هذه العمليات دورًا حاسمًا في إنتاج أشباه موصلات عالية الجودة، ويؤكد على الحاجة إلى التحكم الدقيق في درجة الحرارة والضغط والعوامل البيئية الأخرى لضمان الأداء الأمثل.
"반도체 생산 장비" (반도체 생산 장비) 책은 반도체 생산에 사용되는 주요 유형의 기술 장비의 설계 문제와 기능에 대한 포괄적 인 개요를 제공합니다. 저자는 현대 지식 개발의 기술 과정을 인류의 생존과 전쟁 세계에서 사람들의 통일의 기초로 이해하는 것의 중요성을 강조합니다. 이 책은 반도체 기술의 역사에 대한 소개로 시작하여 진공관 초기부터 현재의 마이크로 일렉트로닉스 시대까지의 진화를 추적합니다. 저자는 최종 제품의 품질과 신뢰성을 보장하기 위해 이러한 접근 방식이 필요하다는 점을 지적하면서 반도체 장치 및 집적 회로 생산의 통합 기계화 및 자동화에 대한 체계적인 접근 방식의 필요성을 강조합니다. 첫 번째 장은 포토 리소그래피, 확산 및 에칭을 포함한 반도체 생산을위한 장비 설계에 전념합니다. 저자는 이러한 각 프로세스가 고품질 반도체 생산에 어떻게 중요한 역할을하는지 설명하고 최적의 성능을 보장하기 위해 온도, 압력 및 기타 환경 요소를 정확하게 제어 할 필요성을 강조합니다.
本「半導体生産装置」(半導体生産装置)は、半導体生産に使用される主な技術機器の設計課題と特徴の包括的な概要を提供しています。著者は、現代の知識の発展の技術的プロセスを人類の生存の基礎として理解し、戦争世界における人々の団結を理解することの重要性を強調しています。この本は、真空管の初期から現在のマイクロエレクトロニクスの時代までの進化をたどる、半導体技術の歴史の紹介から始まります。著者は、半導体デバイスと集積回路の生産の統合機械化と自動化に対する体系的なアプローチの必要性を強調し、そのようなアプローチは最終製品の品質と信頼性を確保するために必要であると指摘している。第1章は、フォトリソグラフィ、拡散、エッチングなどの半導体製造のための装置の設計に専念しています。高品質の半導体の製造において、これらのプロセスがどのように重要な役割を果たしているかを説明し、最適な性能を確保するために温度、圧力、その他の環境要因を正確に制御する必要性を強調しています。
《半導體生產設備》全面概述了半導體生產中使用的主要工藝設備的設計問題和特點。作者強調了解現代知識發展的技術過程作為人類生存和人類團結在交戰世界中的基礎的重要性。這本書首先介紹了半導體技術的歷史,追溯了其從電子燈的早期到現在的微電子時代的演變。作者強調需要一種系統方法來實現半導體器件和集成電路的復雜機械化和自動化生產,並指出這種方法對於確保最終產品的質量和可靠性至關重要。第一章涉及半導體制造設備的設計,包括光刻、擴散和蝕刻。作者解釋了每個過程在生產高質量半導體中如何發揮關鍵作用,並強調需要精確控制溫度,壓力和其他環境因素,以確保最佳性能。
